ディープ UV (DUV) コーティング
主な使用波長:
1963nm のAR / HR
266nmの AR / HR
355nm及びレーザーコーティングに使用のAR / HR
193~355nmのカスタマイズされたコーティングを提供可能
主なコーテイング材料:
HfO2，LaF2，AI2O2，SiO2，MgF2
基板:
レンズ、プリズム、ウインドーなど.
材質:UVグレードFS
通常寸法:2mm~150mm
193nm AR および HR コーティング： | |
193nm の AR (T＞98.5%、AOI:0°)
| 193nm のHR (R＞96%、AOI:0°)
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266nmおよび308nm用HRコーティング ： | |
266nmnのHR (R＞99.5%、AOI:0°) | 308nmnのHR (ランダム＞99.5%、AOI:45°)
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355nm のレーザーコーティング： | |
355nm の吸収テストステーション
| 355nm（<100ppm） での HR コーティングの吸収
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355nm 用 LIDT テストステーション
| 355nm での HR コーティング用 LIDT (＞10J/cm² 10ns、10Hz、Spica によるサンプルテスト)
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機能的な特徴です
